1. 腔体:140*200*110;多种腔体定制。
2. 发生器: 100W,20-100KHz;多种功率发生器定制。
3. 控制器:7英寸触摸屏,自动&手动控制 。
4. 体积:580*580*340。
选配:石英腔体(直径100*200mm);多种石英腔体定制
RIE模式,双模工作,多组电极设计
联系人:张垚
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