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光刻系统

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小型实验室配有旋涂机、热板、去离子水系统和工艺槽。该设备能有效地对大学和研究中心的4英寸样品进行光刻。

•组成:旋涂机(Spin-1200T)、热板、D.I水系统

•排水管

•排水槽

•排气

•氮气枪

•D.I水枪

•尺寸:1300(宽)*750(深)*1800(高)


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